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  8865SC13美國bird精密射頻負(fù)載傳感器大限度地提高工藝的重復(fù)性和一致性,現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)、調(diào)節(jié)和監(jiān)控是確保射頻電源準(zhǔn)確、可重復(fù)地向腔室輸送射頻電源的關(guān)鍵組成部分。當(dāng)使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時(shí),VSWR目前提供超穩(wěn)定、低VSWR負(fù)載,用于快速和精確地測量發(fā)電機(jī)輸出功率。8865SC13不僅提供低VSWR,而且在過程臨界頻率下VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準(zhǔn)時(shí)間不同,沒有必要進(jìn)行負(fù)載熱身或重復(fù)性風(fēng)險(xiǎn)。這可以最小化與此校準(zhǔn)相關(guān)的錯(cuò)誤,并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。代購美國bird精密射頻負(fù)載傳感器。

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